三井金属开发出石墨部件TaC涂层成膜技术 采用稀有金属溶液材料

三井金属于25日宣布，采用稀有金属溶液材料系列“iconos”开发出TaC（碳化钽）涂层技术，可适用于带沟槽、孔洞及凹凸等复杂形状的石墨部件。液体材料在石墨基材表面均匀反应，形成薄而致密的TaC被膜，有助于延长半导体晶体生长装置中复杂形状部件的使用寿命。